财通上市公司：光刻为半导体设备之巅 冰山峰顶待国产曙光

财通交易所发布研究报告称，电子束是太阳能电池器件制造的最内部步骤，实际上提议集成电路的性能和良率。中国中国以未成熟制程大多的太阳能电池产线不断扩产，产生了大量电子束器材的效益，国内外电子束器材零售商宽广。在电子束配套器材与机体特别，建议关注苏大维格(300331.SZ)、茂莱镜片(688502.SH)、芯源微(688037.SH)、精测电子(300567.SZ)、盛美苏州(688082.SH)、美埃科技(688376.SH)、俱光科技(688167.SH)、福晶科技(002222.SZ)等。

▍财通交易所主要观点如下：

电子束是太阳能电池生产中最重要的传统工艺步骤：

电子束是太阳能电池器件制造的最内部步骤，实际上提议集成电路的性能和良率。电子束机的内部传统工艺指标还包括：分辨率、聚焦深度、套刻精度、曝光功率及一个单位一段时间产能等。

主流的电子束机以外引入水或系统、可编程光照、反射光微调、热效应微调、对准与表面测量等高难度高效率。电子束器材以外具有高高效率开发高效率,毛利率微过50%。

未成熟传统工艺领域大多，国内外电子束器材零售商宽广：

中国中国以未成熟制程大多的太阳能电池产线不断扩产，产生了大量电子束器材的效益。2021年ASML有高达27.4亿法郎的营收来自中国中国(其全球第三大零售商);全球电子束器材零售商生产能力微180亿美元，显影涂胶器材零售商微30亿美元。

国产电子束曝光器材尚处于实验阶段;显影涂胶器材已遮盖水或式ArFi传统工艺节点，突破动能强力。

电子束机河段零部件零售商有待发掘：

电子束机的运行需光源、照明器材、掩膜台、物镜、工件台等多个精密系统组合指导，全球电子束机体零售商至少将近70亿美元(按50%毛利率推算)。

相比较其他太阳能电池机体，电子束机机体单个价值量高，成本高大。贸易限制导致海外供应链不确定性有所增加，国内外镜片民营企业成为不二之选，高效率意志力与对应产品的盈利意志力有望更快成长。

不确定性提示：太阳能电池行业景气度下滑，电子束器材效益不及短期内;贸易自由主义因素导致国内外晶圆厂扩产回落;电子束器材与子系统成本高大，相关研发进度可能慢于短期内。

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